油擴散泵比機械泵能獲得更高的真空度
時間:2022-11-14 10:00:37 點擊:616 次
機械泵并不能獲得較高的真空度,要獲得更高的真空度,可采用擴散泵,并與機械泵構成高真空機組。機械泵作為擴散泵的前置泵,高真空機組的工作真空度可達10-2-10-5Pa。擴散泵工作時,內有高速流動的蒸汽流,被抽氣體擴散到蒸汽流中,然后被蒸汽流帶往排氣口,達到抽氣的目的,因此擴散泵又稱為蒸氣射流泵。蒸氣流由工作介質油經過加熱產生,這種利用油作為工作介質的擴散泵叫做油擴散泵。
油擴散泵上部為進氣口,通過主閥門與真空爐腔相連,右下方是與前級泵連接的出氣口,底部儲有擴散泵油的蒸發(fā)室,中間是帶有導流管的傘形噴嘴,金屬外殼周圍安裝有冷卻水管,擴散泵油靠蒸發(fā)室下面的電爐加熱。
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